SQUID素子

大型外径SQUID （ノイズレベル：100fT/√Hz @ 1kHz）
大型外径SQUIDは、従来のSQUIDに比べ、ワッシャーサイズ（超電導薄膜部分）を大きくすることにより、高感度化を目指したものです。

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ワッシャーサイズ：5mm×5mm
チップキャリアサイズ：15mmφ
有効磁場捕獲断面積：0.2mm²

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段差高さ：0.2μm
接合幅：3μm
基板：SrTiO₃

磁束濃縮トランス付SQUID （ノイズレベル：13fT/√Hz @ 1kHz）

磁束濃縮トランス付SQUIDは、SQUIDに磁束トランスを張り合わせることにより、高感度化を目指したものです。磁束濃縮トランスは、15mm×15mmの大きさの磁束を捕獲するピックアップコイルと、捕獲した磁束を濃縮してSQUIDに伝達するインプットコイルから構成されています。磁束濃縮トランスは全体で１つのループを形成していますので、マルチターンのインプットコイル部には交差配線が必要です。交差部分における超電導薄膜/絶縁薄膜/絶縁薄膜の3層構造形成技術により、マルチターンインプットコイルを開発し、高感度化に成功しました。

外観写真

ピックアップコイルサイズ：15mm×15mm
有効磁場捕獲断面積：3.2mm²

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ターン数：15巻き

（発表論文）
H. Kugai, T. Nagaishi and H. Itozaki, Advances in Superconductivity VIII, Proceedings of 8th International Symposium on Superconductivity (ISS'95), Springer-Verlag Tokyo 1996