06-07-2011 | В первые получены сверхяркие голубые светодиоды на 6-дюймовых сапфировых подложках

Экспертами первый раз были получены голубые светодиоды (UHB LED) на базе структур GaN, выращенных на на 6-ти дюймовых сапфировых подложках.
Не только сами итоги смотрятся обнадеживающе, но и тот прецедент, что весь процесс производства светодиодов может потом быть успешно использован на подложках большего объема.

Процесс производства светодиодов из 6-ти дюймовых пластин базируется на МОС-гидридной эпитаксии и серии дальнейших шагов производства конечных приборов, включая финальную проверку. Например, стуктуры для LED наносились на сапфировые подложки шириной 1000мкм и поперечником 6 дюймов в MOCVD-реакторе AIX 2800G4 с конфигурацией 6×6".